北方华创真空申请新型组合式观察窗专利,具有避免靶材溅射到观察窗上的效果
金融界2024年10月17日消息,国家知识产权局信息显示,北京北方华创真空技术有限公司申请一项名为“一种新型组合式观察窗”的专利,公开号CN 118773563 A,申请日期为2023年4月。
专利摘要显示,本申请涉及观察窗技术领域,尤其是涉及一种新型组合式观察窗,其包括第一观察窗、第二观察窗、遮挡板和传动组件;第一观察窗安装在镀膜设备腔室的墙板上,第一观察窗包括第一底座和安装在第一底座上的第一玻璃;第二观察窗安装在卷绕小车的墙板上,第二观察窗包括第二底座和安装在第二底座上的第二玻璃;传动组件穿设在第一观察窗和第二观察窗上,传动组件与第一观察窗和第二观察窗均转动连接,遮挡板安装在传动组件上,遮挡板位于第一观察窗背离第二观察窗的一侧,传动组件能够带动遮挡板转动,当镀膜设备工作时,遮挡板对第一玻璃进行遮挡。本申请具有在便于卷绕小车移动的前提下避免靶材溅射到观察窗上,以便于更好地进行观察的效果。
本文源自金融界
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